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點(diǎn)擊登錄查看2025年1至12月政府采購(gòu)意向-電子圖形化設(shè)備 詳細(xì)情況
| 電子圖形化設(shè)備 | |
| 項(xiàng)目所在采購(gòu)意向： | 點(diǎn)擊登錄查看2025年1至12月政府采購(gòu)意向 |
| 采購(gòu)單位： | 點(diǎn)擊登錄查看 |
| 采購(gòu)項(xiàng)目名稱： | 電子圖形化設(shè)備 |
| 預(yù)算金額： | 500.000000萬(wàn)元(人民幣) |
| 采購(gòu)品目： | A****其他電工、電子生產(chǎn)設(shè)備 |
| 采購(gòu)需求概況 ： | 采購(gòu)一臺(tái)電子圖形化設(shè)備，用于在器件工藝中實(shí)現(xiàn)15nm高精度圖形的制備。通過(guò)電子束轟擊電子敏感材料，精確控制電子束的掃描和定位，在材料上形成圖形。最小光刻線寬≤15 nm；電子槍最大加速電壓≥30 kV；最小聚焦束斑≤3 nm；套刻精度≤50 nm。 |
| 預(yù)計(jì)采購(gòu)時(shí)間： | 2025-02 |
| 備注： | |
本次公開(kāi)的采購(gòu)意向是本單位政府采購(gòu)工作的初步安排，具體采購(gòu)項(xiàng)目情況以相關(guān)采購(gòu)公告和采購(gòu)文件為準(zhǔn)。
