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點擊登錄查看2025年8至10月政府采購意向-SOM的12寸線上工藝開發(fā)及流片服務(wù) 詳細情況
| SOM的12寸線上工藝開發(fā)及流片服務(wù) | |
| 項目所在采購意向： | 點擊登錄查看2025年8至10月政府采購意向 |
| 采購單位： | 點擊登錄查看 |
| 采購項目名稱： | SOM的12寸線上工藝開發(fā)及流片服務(wù) |
| 預(yù)算金額： | 347.000000萬元(人民幣) |
| 采購品目： | C****電子、通信與自動控制技術(shù)研究服務(wù) |
| 采購需求概況 ： | 階段1：材料1靶材準(zhǔn)備及薄膜工藝調(diào)試，包括薄膜測試和組分結(jié)構(gòu)；mat char FO樣片制備，完成電學(xué)測試，包括薄膜組分、形貌、黏附性等，單元擦寫時延、閾值窗口、擦寫次數(shù)等mat char測試數(shù)據(jù)； 階段2：材料2靶材準(zhǔn)備及薄膜工藝調(diào)試，包括薄膜測試和組分結(jié)構(gòu)；mat char FO樣片制備，完成電學(xué)測試，包括薄膜組分、形貌、黏附性等，單元擦寫時延、閾值窗口、擦寫次數(shù)等mat char測試數(shù)據(jù)； 階段3：進行結(jié)構(gòu)工藝調(diào)試，包括WL和BL調(diào)試，刻蝕形貌/包裹等需進行TEM切片表征，實現(xiàn)20nm特征尺寸的工藝流程； 階段4：4片F(xiàn)L的12寸晶圓流片；測試并統(tǒng)計數(shù)據(jù)。 |
| 預(yù)計采購時間： | 2025-09 |
| 備注： | |
本次公開的采購意向是本單位政府采購工作的初步安排，具體采購項目情況以相關(guān)采購公告和采購文件為準(zhǔn)。
