鍍膜系統(tǒng)(手套箱)

A****真空應(yīng)用設(shè)備

該設(shè)備需提供了一個受控、純凈且安全的操作環(huán)境，通過其高效的密封和凈化系統(tǒng)，能夠創(chuàng)造一個幾乎無雜質(zhì)的環(huán)境。要求具有真空控制系統(tǒng)，能夠達(dá)到足夠的真空極限值。需配備不少于四組的蒸發(fā)源，每組蒸發(fā)源得能獨立控制。配備觸摸和手自一體的操作系統(tǒng)能夠?qū)崿F(xiàn)一鍵蒸鍍功能，水冷部件有分子泵、蒸發(fā)電極、膜厚儀探頭、磁流體等，整機(jī)配水流報警保護(hù)系統(tǒng)。真空環(huán)境內(nèi)要求水氧小于0.01PPM、潔凈、溫度控制。預(yù)留拓展接口。溶劑處理系統(tǒng)：需保證無任何溶劑污染真空腔室。