8英寸MEMS晶圓生產(chǎn)線之低溫TEOS國(guó)際招標(biāo)公告(1)

點(diǎn)擊登錄查看受招標(biāo)人委托對(duì)下列產(chǎn)品及服務(wù)進(jìn)行國(guó)際公開(kāi)競(jìng)爭(zhēng)性招標(biāo)，于****在中國(guó)國(guó)際招標(biāo)網(wǎng)公告。本次招標(biāo)采用傳統(tǒng)招標(biāo)方式，現(xiàn)邀請(qǐng)合格投標(biāo)人參加投標(biāo)。
1、招標(biāo)條件
項(xiàng)目概況:設(shè)備名稱：低溫TEOS；
數(shù)量：1臺(tái)；
設(shè)備原理及用途：PECVD是腔室在低壓高溫條件下，通入反應(yīng)氣體，形成等離子體，進(jìn)行化學(xué)反應(yīng)，在硅片表面淀積薄膜。PECVD主要用于產(chǎn)品中二氧化硅、氮化硅的制備。低溫TEOS（170℃）機(jī)臺(tái)主要用于麥克風(fēng)產(chǎn)品的犧牲層，低溫主要是為了平衡麥克風(fēng)產(chǎn)品正反面腐蝕的速度以及防止金屬層發(fā)生變化（Cr/Au擴(kuò)散）。
資金到位或資金來(lái)源落實(shí)情況:已到位
項(xiàng)目已具備招標(biāo)條件的說(shuō)明:已具備
2、招標(biāo)內(nèi)容
招標(biāo)項(xiàng)目編號(hào):****
招標(biāo)項(xiàng)目名稱:8英寸MEMS晶圓生產(chǎn)線之低溫TEOS
項(xiàng)目實(shí)施地點(diǎn):中國(guó)安徽省
招標(biāo)產(chǎn)品列表(主要設(shè)備):

序號(hào)	產(chǎn)品名稱	數(shù)量	簡(jiǎn)要技術(shù)規(guī)格	備注
1	低溫TEOS	1	晶圓尺寸：8英寸雙面拋光，notch，厚度：300μm～800 μm。其他參數(shù)詳見(jiàn)第八章	無(wú)

3、投標(biāo)人資格要求
投標(biāo)人應(yīng)具備的資格或業(yè)績(jī):①投標(biāo)人如為境內(nèi)企業(yè)，提供企業(yè)法人營(yíng)業(yè)執(zhí)照或事業(yè)單位法人證書(shū)，如為境外企業(yè)提供企業(yè)注冊(cè)登記證。
②投標(biāo)人可以是設(shè)備制造廠家，也可以是設(shè)備授權(quán)代理商，代理商需有設(shè)備原廠家的有效授權(quán)書(shū)。
③投標(biāo)人開(kāi)戶行開(kāi)具的，出具日期在開(kāi)標(biāo)前三個(gè)月內(nèi)的資信證明原件或該原件的復(fù)印件。
④投標(biāo)人需要具有履行合同所必需的設(shè)備技術(shù)支持和服務(wù)能力（提供相關(guān)證明材料或承諾書(shū)，承諾書(shū)格式自擬）。
⑤單位負(fù)責(zé)人授權(quán)書(shū)原件。
是否接受聯(lián)合體投標(biāo):不接受
未領(lǐng)購(gòu)招標(biāo)文件是否可以參加投標(biāo):不可以
4、招標(biāo)文件的獲取
招標(biāo)文件領(lǐng)購(gòu)開(kāi)始時(shí)間:****
招標(biāo)文件領(lǐng)購(gòu)結(jié)束時(shí)間:****
是否在線售賣(mài)標(biāo)書(shū):否
獲取招標(biāo)文件方式:現(xiàn)場(chǎng)領(lǐng)購(gòu)
招標(biāo)文件領(lǐng)購(gòu)地點(diǎn)：蘇美達(dá)大廈8樓東側(cè)（南京長(zhǎng)江路198號(hào)）
招標(biāo)文件售價(jià):￥3000/$400
其他說(shuō)明:每天9：00—11：30，14：00—17：30（北京時(shí)間，節(jié)假日除外）不購(gòu)買(mǎi)招標(biāo)文件的不得參加投標(biāo)。聯(lián)系人郵箱：****@sumec.com.cn。
5、投標(biāo)文件的遞交
投標(biāo)截止時(shí)間（開(kāi)標(biāo)時(shí)間）:**** 09:30
投標(biāo)文件送達(dá)地點(diǎn):安徽省蚌埠市****
開(kāi)標(biāo)地點(diǎn):安徽省蚌埠市****
6、聯(lián)系方式
招標(biāo)人:點(diǎn)擊登錄查看
地址:安徽省蚌埠市****
聯(lián)系人:點(diǎn)擊登錄查看
聯(lián)系方式:****
招標(biāo)代理機(jī)構(gòu):點(diǎn)擊登錄查看
地址:南京長(zhǎng)江路198號(hào)11樓
聯(lián)系人:江岳峰/朱志云/周 翠
聯(lián)系方式:****、****
7、匯款方式:
招標(biāo)代理機(jī)構(gòu)開(kāi)戶銀行(人民幣):
招標(biāo)代理機(jī)構(gòu)開(kāi)戶銀行(美元):
賬號(hào)(人民幣):
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